Catégorie de produit

Produits chauds

Nouvelles de l'industrie

Nouvelle idée, de nouveaux équipements et de nouvelles technologies pour l’amélioration du matériel de revêtement de pulvérisation cathodique magnétron
Nov 08, 2016

À l’heure actuelle, la modernisation des industries traditionnelles est devenue la matière #39 ; prise de décisions stratégiques s, tous les paliers de gouvernement ont été introduites, ou est sur le point d’introduire une variété de politiques de financement. Dans ce contexte, le site continuera à lancer une série du programme de mise à niveau de matériel application sous vide pour l’userand #39 ; référence s. Cet article se concentre sur les nouvelles méthodes et stratégies pour la modernisation du magnétronpulvérisation cathodique et revêtement arc cathodiqueéquipement.


Dans l’équipement de métallisation sous vide, le vide de l’arrière-plan et le taux de la déflation est les deux plus importants concepts de qualité. Le fond du vide est intuitif, facile à mesurer, ainsi que des raisons historiques, les utilisateurs ont été habitués à elle et la qualité du vide équivalent. En effet, l’aspirateur de fond reflète l’idée, la chambre du vide est l’essence même de la qualité sous vide. Dans beaucoup d’occasions, la fin du vide va induire en erreur l’utilisateur, ce qui entraîne une mauvaise utilisation de processus de pompage, réduire la qualité des produits et une série de problèmes.


Il est bien connu quemétallisation sous videpeuvent être divisés en deux catégories : métallisation sous vide élevée (tels que le revêtement de l’évaporation) et métallisation sous vide dans l’environnement de gaz de travail (comme la pulvérisation magnétron et revêtement arc cathodique).


Le premier et le bas de l’environnement de métallisation sous vide est fondamentalement la même, caractérisée par la pression de base pour la qualité sous vide n’est pas un problème, mais ce genre de matériel de revêtement, habituellement un grand volume (environ quelques mètres 3), la pompe principale est largement utilisé dans des dizaines de milliers de L/s, vitesse de la pompe à huile diffusion de pompage, le principal problème est la consommation d’énergie élevée et la grave pollution du pétrole vapeur deux problèmes , les contre-mesures correspondantes seront discutés dans un autre article.

Ce dernier, la pression de base supérieure à la pression de quelques dizaines à des centaines de fois, vide recouvert le vide base de revêtement diffère grandement, dans le choix de la pompe à vide et pompage des processus, des produits souvent des erreurs et des malentendus, la mise au point sera discuté dans cet article.


Avant la discussion, le premier pas les questions fondamentales suivantes :


1 la pression de la chambre à vide Q est proportionnelle à la quantité de S dans la chambre à vide et est inversement proportionnelle à la vitesse de pompage réelle de l’état de fonctionnement de pompe à vide, c'est-à-dire, P.

Q / S P = 1


2 stade de revêtement de pression de gaz actifs (principalement vapeur d’eau) est la clé pour influencer la qualité du revêtement, équipement de revêtement est la qualité sous vide des indicateurs fond.


3 pour la chambre à vide sans cuisson avec soin, souvent exposés à l’atmosphère, la pression dans le bas du gaz actif représentaient plus de 90 %.


Valeurs mesurées montrent que la pression de fond, de pompage de gaz pendant une demi-heure, environ 90 % de vapeur d’eau, pompage 1 heures, environ 95 % de vapeur d’eau, par conséquent, la chambre de revêtement (y compris la pièce) dégagement du gaz peut être considéré tout le gaz actif.


4 essence est de réduire la nature de la chambre de revêtement du taux de gaz, le bas du taux de pompage fin entrera dans la phase de revêtement. Il peut être un très andquot ; puzzlingandquot ; conclusion : la vitesse effective du pompage de la pompe à vide 3000L/s, la fumée faible jusqu'à 8 * 10-3 Pa, la qualité de dessin de pompe à vide et le pompage efficace Vitesse 1500L/s, la fin pompée à 1,6 * 10-2 Pa la scène même, à savoir la précision de pompage par pompage sous vide Vitesse le plus petit, le vide base permet aux pauvres !


Les résultats montrent que : les deux types de pompes, le même taux de gaz nécessaire à la pompe de la chambre de revêtement pour bredouiller revêtement, le délai imparti est sensiblement la même, ce dernier n’a augmenté de 5 minutes. Dans le plan de reconstruction, le temps de la brutale phase de pompage peuvent être sauvegardé en 5 minutes, c'est-à-dire le cycle de revêtement est inchangé.


5 en 1 et l’activité de la pression partielle du gaz au bas du taux de dégazage de revêtement est proportionnelle à l’inverse de l’enrobage et rapide phase de pompage.


6 pour revêtement étape pompage vitesse et précision, stade de pompage, les mêmes situations (par exemple l’évaporation), par 1 le revêtement phase gaz réactif et la pression partielle du dessin de la même pression dans le bas, donc la pression de fond peut être utilisée pour caractériser la qualité d’équipement de métallisation sous vide.


7 pour différentes occasions dans la phase de revêtement, la pression du gaz dans la phase de revêtement actif est différente de la pression au fond, autrement dit, la qualité sous vide pas se caractérise par l’aspirateur de fond.

Dans l’étape 8 de pulvérisation magnétron (généralement 0.5Pa), pompe de diffusion (doit être ajouté au papillon) et la vitesse de pompage est seulement la valeur nominale de 1/6 ~ 1/5, la vitesse de la pompe moléculaire pour la valeur nominale de 50 ~ 70 %, donc l’activité de revêtement de la pression partielle de gaz étaient 5 ~ 6 fois et 1,5 ~ 2 fois de la pression de fond. Pompe moléculaire fonctionnant sous haute pression, mais également enclin à jouer un dangereux.


conclusion 9 : l’utilisation du stade de revêtement pompage pompe à vide grande vitesse, fine phase de pompage de la pression de fond peut être plus élevé, ou la vitesse de pompage de la vitesse de pompage peut être plus faible.


Améliorer. On voit que la pression de fond comme un indicateur de la qualité sous vide est un gros malentendu. La raison peut être liée à l’évaporation de l’enduit à l’ancienne, pulvérisation magnétron et pendantmon #39 ; habitude de s de la pensée.


8 la mesure efficace pour réduire la quantité d’air dans la chambre à vide n’est ne pas d’augmenter la vitesse de pompage de la pompe, mais à prolonger le temps de pompage.


  • QR CODE