Shaanxi Yunzhong Industrie Development Co., Ltd
Cibles de pulvérisation cathodique

tantale cibles 99,99 % cible planaire

Nom du produit : tantale, cible de pulvérisation cathodique Exécution standard : B708-98 Spécifications : diamètre de la cible circulaire (25-400) mm mm (28-3) * spécifications cible carrée épaisseur : épaisseur (1-12.7) de mm * mm de largeur (200-2000) (10-600) mm * longueur tolérance : la tolérance de diamètre de + / - 0,254...

Products Specifications:

Nom du produit :cible de pulvérisation de tantale

Exécution standard : B708-98

Spécifications : diamètre de la cible circulaire mm (25-400) (3-28) mm * épaisseur

Carré des spécifications de la cible : épaisseur (1-12.7) de mm * (10-600) mm * longueur mm largeur (200-2000)

Tolérance : la tolérance de diamètre de + / - 0,254

Marque : RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5W), RO5255 (Ta-10W)

Pureté : 99,9 %

Recristallisation : au moins 95 %

Taille de grain : minimum 40 m

Rugosité de surface : Ra 0,8 maximale

Planéité : ou 0,1 mm 0,10 % au maximum.

Cibles de plaques de tantale

Compostion chimique

GR

Principal

d’autres % Max

Ta

N.-b.

Fe

Si

Ni

W

Mo

TI

N.-b.

O

C

H

N

Ta1

rappeler aux

——

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

TA2

rappeler aux

——

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

rappeler aux

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

rappeler aux

17.0~23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TA2.5W

rappeler aux


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

rappeler aux


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01




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